[实用新型]一种CCD机构及大台面内层监视曝光机有效
| 申请号： | 201821399408.0 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208654537U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张方德;谢桂平 | 申请（专利权）人： | 浙江欧视达科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 陈晖 |
| 地址： | 325025 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种CCD机构及大台面内层监视曝光机，其包括底座、设置在底座上可轴向滑移的镜头安装座以及设置在镜头安装座上的CCD相机，所述镜头安装座与底座之间设有驱动机构，所述驱动机构与镜头安装座的之间设有微调机构，在驱动机构的基础上，增加微调机构，在使用时可以通过微调机构调整气缸的行走距离，减小气缸的行走误差。 | ||
| 搜索关键词： | 镜头安装座 驱动机构 微调机构 底座 大台面 曝光机 内层 气缸 监视 本实用新型 行走距离 轴向滑移 减小 | ||
【主权项】：
1.一种CCD机构，其包括底座、设置在底座上可轴向滑移的镜头安装座以及设置在镜头安装座上的CCD相机，其特征在于：所述镜头安装座与底座之间设有驱动机构，所述驱动机构与镜头安装座的之间设有微调机构。
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