[实用新型]一种平推伞形高真空插板阀

摘要

本实用新型公开了一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔和气缸安装门，所述气缸安装门外侧安装有气缸轴密封，所述气缸轴密封前端安装有插板阀气缸，所述阀体真空腔一端安装有阀体安装门，所述阀体真空腔内部安装有伞形撑杆，所述伞形撑杆下方安装有支撑块，所述伞形撑杆一侧设有支撑板，所述支撑板另一侧设有密封板，所述支撑板内侧面焊接有支撑板冷却水道。本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对不同工艺可以进行不同的工艺优化设计，机械节拍可以达到60‑90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

主权项

1.一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔(1)和气缸安装门(3)，其特征在于：所述气缸安装门(3)外侧安装有气缸轴密封(5)，所述气缸轴密封(5)前端安装有插板阀气缸(7)，所述阀体真空腔(1)一端安装有阀体安装门(2)，所述阀体真空腔(1)内部安装有伞形撑杆(11)，所述伞形撑杆(11)下方安装有支撑块(17)，所述伞形撑杆(11)一侧设有支撑板(18)，所述支撑板(18)另一侧设有密封板(19)，所述伞形撑杆(11)将支撑板(18)和密封板(19)连接在一起，所述支撑板(18)内侧面焊接有支撑板冷却水道(181)，所述密封板(19)的内侧面焊接有密封板冷却水道(191)，所述支撑板冷却水道(181)和密封板冷却水道(191)密封连接有冷却水进出分水头(10)，所述冷却水进出分水头(10)上端串通连接有冷却水进出管(9)，所述冷却水进出管(9)一端下侧设有压缩空气进气口(20)，所述冷却水进出管(9)串通连接气缸安装门(3)，所述冷却水进出管(9)与气缸安装门(3)的连接处设有冷却水进出轴密封(8)，所述冷却水进出轴密封(8)紧固连接于气缸安装门(3)中部，所述冷却水进出管(9)和冷却水进出轴密封(8)连接，所述阀体真空腔(1)中部设有阀体导向座(12)，所述阀体导向座(12)两侧设有阀体真空腔(1)，所述阀体真空腔(1)两侧内壁固定连接有限位块(13)，所述阀体真空腔(1)中部设有膨胀波纹管(15)，所述膨胀波纹管(15)左侧安装有进气道(16)，所述膨胀波纹管(15)上方和下方均安装有拉紧弹簧(14)，阀体导杆(4)通过导杆安装座(21)紧固连接于阀体真空腔(1)内壁。