[实用新型]双面抛光机

摘要

本实用新型提供了一种双面抛光机。该双面抛光机包括机架、上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮和驱动组件，上抛光盘、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮分别独立地设置于机架上，中心齿轮设置于外齿轮的中心位置处，中心齿轮与外齿轮之间具有容纳空间，用于啮合放置晶片的游星轮，容纳空间位于上抛光盘与下抛光盘之间，驱动组件包括：第一驱动装置，设置于机架上并与上抛光盘连接，用于驱动上抛光盘转动；第二驱动装置，设置于机架上并与下抛光盘连接，用于驱动下抛光盘与上抛光盘同向转动；第三驱动装置，设置于机架上并与中心齿轮连接，用于驱动中心齿轮转动；第四驱动装置，设置于机架上并与外齿轮连接，用于驱动外齿轮转动。

主权项

1.一种双面抛光机，其特征在于，包括机架、上抛光盘(6)、下抛光盘、中心齿轮、外齿轮和驱动组件，所述上抛光盘(6)、所述下抛光盘、所述中心齿轮、所述外齿轮分别独立地设置于所述机架上，所述中心齿轮设置于所述外齿轮的中心位置处，所述中心齿轮与所述外齿轮之间具有容纳空间，用于啮合放置晶片的游星轮，所述容纳空间位于所述上抛光盘(6)与所述下抛光盘之间，所述驱动组件包括：第一驱动装置(7)，设置于所述机架上并与所述上抛光盘(6)连接，用于驱动所述上抛光盘(6)转动；第二驱动装置，设置于所述机架上并与所述下抛光盘连接，用于驱动所述下抛光盘与所述上抛光盘(6)同向转动；第三驱动装置，设置于所述机架上并与所述中心齿轮连接，用于驱动所述中心齿轮转动；第四驱动装置，设置于所述机架上并与所述外齿轮连接，用于驱动所述外齿轮转动。