[实用新型]一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件有效
申请号: | 201821408092.7 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN208752235U | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 石东海;王庆康 | 申请(专利权)人: | 北京科易达知识产权服务有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;H01P1/20;H01P11/00 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人: | 陈宏伟 |
地址: | 100000 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件,主要由基片、太赫兹谐振结构及悬空结构的支撑构成;基片为高阻硅基片、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺;太赫兹谐振结构为高阻硅、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺材料制成;支撑结构为二氧化硅材料制成。本实用新型滤波效率不随波长变长而降低、滤波带宽不随波长变长而展宽,可以实现高效和窄带滤波。本实用新型滤波器采用高阻硅共振结构悬空技术,提高了滤波效率和导模共振的品质因子,降低了共振结构的损耗,降低了带宽;采用二维阵列结构,克服了器件不对称问题。 | ||
搜索关键词: | 本实用新型 导模共振 悬空结构 高阻 聚甲基丙烯酸甲酯 窄带滤波器 共振结构 滤波效率 谐振结构 亚波长 波长 滤波器 二维阵列结构 二氧化硅材料 聚酰亚胺材料 聚酰亚胺 滤波带宽 品质因子 窄带滤波 支撑结构 不对称 硅基片 带宽 悬空 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件,其特征在于:主要由基片、太赫兹谐振结构及悬空结构的支撑构成二维伞状阵列结构;其中,所述的基片为高阻硅基片、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺;所述的太赫兹谐振结构为高阻硅、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺材料制成,形状选自:圆形、星形、正方形几何图形;所述的悬空结构的支撑为二氧化硅材料制成。
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