[实用新型]溅射挂具及溅镀装置有效
| 申请号： | 201821411263.1 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208685048U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 赵武彦;牛士瑞;王庆年;程俊;许伟;陈彪;刘瑞星 | 申请（专利权）人： | 翔声科技(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 杨玉芳;杨唯 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种溅射挂具及溅镀装置，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定，从而可以将溅镀治具安装在溅射挂具，可以转换方向对待溅镀的工件进行完整的溅镀，保障待溅镀的工件的溅射爬深。 | ||
| 搜索关键词： | 限位件 溅镀 溅射 挂具 治具 溅镀装置 卡扣底座 第一端 本实用新型 相对设置 挂钩套 限位槽 挂钩 转换 | ||
【主权项】：
1.一种溅射挂具，其特征在于，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定。
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