[实用新型]微粒检测模块有效

专利信息
申请号: 201821411389.9 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN209167059U 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 莫皓然;陈世昌;廖家淯;詹士德;曾俊隆;黄启峰;韩永隆;蔡长谚;李伟铭 申请(专利权)人: 研能科技股份有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N15/06
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 喻学兵
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种微粒检测模块,包含:一基座;一检测部件,设置于该基座内,并包含一微粒传感器、一激光发射器及一光定位部件,光定位部件具有具有一检测通道及一光束通道,且检测通道与光束通道为正交设置,激光发射器装置于光定位部件中发射光束投射于该光束通道中,微粒传感器对应设置到检测通道与光束通道正交设置;一微型泵,承载于该基座中;其中,微型泵受驱动吸附引导基座外部的气体快速导入检测通道中,气体通过检测通道与该光束通道正交设置,受激光发射器照射而投射光点至微粒传感器,微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。
搜索关键词: 光束通道 检测通道 微粒传感器 激光发射器 定位部件 正交设置 微粒检测 微型泵 发射光束 气体通过 悬浮微粒 投射光 检测 投射 吸附 照射 承载 驱动 外部
【主权项】:
1.一种微粒检测模块,其特征在于,包含:一基座,内部具有一微型泵承载区、一检测部件承载区及一导气通道,其中该微型泵承载区具有一导气凹槽,该导气凹槽一侧具有一通气口,该检测部件承载区具有一进气入口、一容置隔室及一导气缺口,该进气入口与该导气缺口形成一连通路径,而该导气缺口与该容置隔室连通,以及该导气通道设置于该微型泵承载区与该检测部件承载区之间,且该导气通道连通该容置隔室与该微型泵承载区的该通气口;一检测部件,包含一微粒传感器及一激光发射器,设置于该检测部件承载区的容置隔室中,通过激光发射器发射光束至通过气体,以产生投射光点至该微粒传感器,由该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度;以及一微型泵,承载于该基座的该微型泵承载区中,并封盖该导气凹槽,包括有一气体传输致动器,该气体传输致动器由一喷气孔片、一腔体框架、一致动体、一绝缘框架及一导电框架依序堆叠组成,且该气体传输致动器受驱动控制以通过该导气凹槽对气体进行汲取及传输;其中,借由该进气入口连通该导气缺口而连通该容置隔室,再通过该容置隔室与该导气通道连通,且该导气通道通与该通气口连通,再通过该通气口连通该导气凹槽,以形成一导气路径,而该微型泵受驱动控制以对该导气凹槽所连通该导气路径的气体进行汲取及传输,使该基座外部的气体得以快速导入该导气路径,并经过该容置隔室中受该激光发射器照射而投射光点至该微粒传感器,该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。
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