[实用新型]一种化学水浴沉积镀膜装置有效
| 申请号： | 201821416485.2 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208965037U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘耀军 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/16 | 分类号： | C23C18/16 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 喻嵘;郭迎侠 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学水浴沉积镀膜装置，其包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。本实用新型的化学水浴沉积镀膜装置，通过第一伸缩机构和第二伸缩机构交替伸缩带动反应装置摆动，使反应装置内的反应药液混合效果较好，镀设的膜层均匀度较高，且反应药液使用量相对较小。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩机构 反应装置 镀膜装置 化学水 沉积 本实用新型 反应药液 伸缩 摆动 膜层均匀度 混合效果 相对设置 镀设 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和所述第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
