[实用新型]一埚多模制备难熔稀有金属靶的装置有效
| 申请号： | 201821418955.9 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208787477U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 张磊;郭校亮;陈良杰;刘勋海 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | B22D11/055 | 分类号： | B22D11/055;B22D11/14;B22D11/10;C23C14/34 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种一埚多模制备难熔稀有金属靶的装置，属于金属靶材的制备技术领域。其包括炉体、送料机构、坩埚、水冷模块、电子枪、真空系统和充气结构，所述炉体分为炉室和电子枪室，所述水冷模块包括水冷模具和设于该水冷模具下方的水冷拉锭机构；真空系统和充气结构分别与炉室和电子枪室相连，坩埚设于炉室内部，送料机构的送料口设于坩埚上方，坩埚的出流口设于水冷模具的储液区的上方，水冷模具和坩埚的上方设有电子枪，其特征在于，所述坩埚设有不少于2个出流口，每个出流口的下方均设有一个水冷模块。本实用新型所述的装置，可实现一埚多模，极大提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 水冷 模具 水冷模块 出流口 多模 难熔稀有金属 本实用新型 充气结构 电子枪室 送料机构 真空系统 电子枪 炉室 炉体 制备 制备技术领域 金属靶材 拉锭机构 生产效率 储液区 室内部 送料口 | ||
【主权项】：
1.一种一埚多模制备难熔稀有金属靶的装置，包括炉体(8)、送料机构(9)、坩埚(10)、水冷模块、电子枪(12)、真空系统和充气结构(13)，所述炉体(8)分为炉室和电子枪(12)室，所述水冷模块包括水冷模具和设于该水冷模具下方的水冷拉锭机构(11)；真空系统和充气结构(13)分别与炉室和电子枪(12)室相连，坩埚(10)设于炉室内部，送料机构(9)的送料口设于坩埚(10)上方，坩埚(10)的出流口(14)设于水冷模具的储液区(3)的上方，水冷模具和坩埚(10)的上方设有电子枪(12)，其特征在于，所述坩埚(10)设有不少于2个出流口(14)，每个出流口(14)的下方均设有一个水冷模块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛蓝光晶科新材料有限公司，未经青岛蓝光晶科新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821418955.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置
- 下一篇：一种柔韧性好的高导热覆铜板
