[实用新型]一种诱变育种用冷等离子体发生器有效
申请号: | 201821419807.9 | 申请日: | 2018-08-31 |
公开(公告)号: | CN209497663U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 王立言;段保峰;张金强 | 申请(专利权)人: | 无锡源清天木生物科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214072 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种诱变育种用冷等离子体发生器,其包括上盖板、射频电极、下盖板、地电极,其特征在于,射频电极与射频电源连接,地电极与射频电源地线连接,上盖板覆盖于射频电极上并与射频电极间形成气体腔室,进气通道设置在上盖板上,射频电极设有突起的平行板条,地电极上设有与射频电极的板条相匹配的窄槽,射频电极的平行板条可以穿过下隔板的窄槽,平行穿插于地电极的窄槽之间;在射频电极的平行板条和地电极的窄槽之间形成等离子体放电室,射频电极、地电极内部设有冷却循环通道。本实用新型有效提高了产生的等离子体的均匀度,且等离子体温度长时间稳定可控。 | ||
搜索关键词: | 射频电极 地电极 窄槽 平行板条 上盖板 冷等离子体发生器 等离子体 本实用新型 射频电源 诱变育种 等离子体放电室 冷却循环通道 地线连接 进气通道 气体腔室 时间稳定 均匀度 下盖板 下隔板 突起 板条 可控 穿插 匹配 平行 穿过 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种诱变育种用冷等离子体发生器,包括上盖板、射频电极、下盖板、地电极,其特征在于,射频电极与射频电源连接,地电极与射频电源地线连接,上盖板覆盖于射频电极上并与射频电极间形成气体腔室,进气通道设置在上盖板上,射频电极设有突起的平行板条,地电极上设有与射频电极的板条相匹配的窄槽,射频电极的平行板条可以穿过下隔板的窄槽,平行穿插于地电极的窄槽之间;在射频电极的平行板条和地电极的窄槽之间形成等离子体放电室,射频电极、地电极内部设有冷却循环通道,其中,射频电极、地电极的冷却通道通过连接管道形成闭环的冷却循环通道。
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