[实用新型]一种气浮平面定位平台有效
| 申请号： | 201821432059.8 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN208744185U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 卢志伟;张君安;刘波;黄鹏;董皓;方舟;李博 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | B23Q1/62 | 分类号： | B23Q1/62;B23Q1/38 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气浮平面定位平台，在花岗石支承平台上设置有超精密花岗石基准方箱、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，超精密花岗石基准方箱为矩形框架结构，其设置在Y向运动气浮导轨部件内可实现基准方箱的Y向运动，在基准方箱的外部套设所述X向运动气浮导轨部件，X向运动气浮导轨部件为矩形框架结构，基准方箱与X向运动气浮导轨部件之间的四个接触面均设有气浮结构薄膜，X向运动气浮导轨部件的上端面设有X向驱动直线电机组件和X向检测定光栅组件，X向运动气浮导轨部件可在基准方箱上X向气浮运动。将二维气浮运动定位平台的定位精度从微米向亚微米及甚至纳米级方向趋近。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮导轨 基准方箱 花岗石 矩形框架结构 平面定位 气浮运动 超精密 直线电机组件 本实用新型 定位平台 气浮结构 定光栅 纳米级 上端面 二维 薄膜 驱动 检测 外部 | ||
【主权项】：
1.一种气浮平面定位平台，其特征在于：包括花岗石支承平台（1），在所述花岗石支承平台（1）上设置有超精密花岗石基准方箱（7）、X向运动气浮导轨部件和Y向运动气浮导轨部件，所述超精密花岗石基准方箱（7）为矩形框架结构，超精密花岗石基准方箱（7）设置在Y向运动气浮导轨部件内可实现超精密花岗石基准方箱（7）的Y向气浮运动，在所述超精密花岗石基准方箱（7）的外部套设所述X向运动气浮导轨部件，所述X向运动气浮导轨部件为矩形框架结构，所述超精密花岗石基准方箱（7）与X向运动气浮导轨部件之间的四个接触面均设有气浮结构薄膜，所述X向运动气浮导轨部件的上端面设有X向驱动直线电机组件和X向检测定光栅组件，X向运动气浮导轨部件可在超精密花岗石基准方箱（7）上X向气浮运动。
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