[实用新型]一种用于贴附曝光菲林的玻璃基板装置有效
| 申请号： | 201821446375.0 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN208689360U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 肖功武 | 申请（专利权）人： | 江西国辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 黄宗熊 |
| 地址： | 343700 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于贴附曝光菲林的玻璃基板装置，它包括一玻璃基板，玻璃基板周围表面上开有槽，玻璃基板上还开有一个通孔，通孔与槽连通，玻璃基板表面覆盖有菲林，槽被菲林完全覆盖，通孔连接一真空泵，通孔与真空泵之间设有一阀门。本实用新型解决曝光菲林贴附效果不佳的问题，从而提高曝光质量，改善图案变形。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 菲林 通孔 曝光 本实用新型 真空泵 贴附 玻璃基板表面 图案变形 周围表面 菲林贴 阀门 连通 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于贴附曝光菲林的玻璃基板装置，其特征在于，它包括一玻璃基板(1)，玻璃基板(1)周围表面上开有槽(2)，玻璃基板(1)上还开有一个通孔(3)，通孔(3)与槽(2)连通，玻璃基板(1)表面覆盖有菲林(4)，菲林(4)完全覆盖槽(2)，通孔(3)连接一真空泵(5)，通孔(3)与真空泵(5)之间设有一阀门(6)。
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