[实用新型]大型箱式真空镀膜机有效
| 申请号： | 201821449845.9 | 申请日： | 2018-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN209227055U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 周一夫 | 申请（专利权）人： | 广州北辰工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大型箱式真空镀膜机，其特征在于，包括：真空箱、高级真空组件和初级真空组件；所述真空箱包括镀膜腔，镀膜腔的一侧设置有连通的排气腔；所述初级真空组件设置有两组，两组初级真空组件相互并联后通过密封管道连接于排气腔；所述密封管道在靠近初级真空组件的一侧和靠近排气腔的一侧均设置有闸板阀；所述高级真空组件连接于排气腔。所述初级真空组件包括串联连接的一级真空泵和二级真空泵；所述高级真空组件泵包括两个相互并联的三级真空泵和一个后级泵。本实用新型通过串、并联相结合的多级不同类型真空泵的组合利用，在实现高效、稳定的大型真空镀膜环境的同时，还可以避免电力浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 真空组件 排气腔 真空泵 并联 本实用新型 真空镀膜机 密封管道 镀膜腔 真空箱 两组 二级真空泵 真空镀膜 闸板阀 连通 | ||
【主权项】：
1.大型箱式真空镀膜机，其特征在于，包括：真空箱、高级真空组件和初级真空组件；所述真空箱包括镀膜腔，镀膜腔的一侧设置有连通的排气腔；所述初级真空组件设置有两组，两组初级真空组件相互并联后通过密封管道连接于排气腔；所述密封管道在靠近初级真空组件的一侧和靠近排气腔的一侧均设置有闸板阀；所述高级真空组件连接于排气腔。
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