[实用新型]一种增大CVD产品沉膜面积的基板玻璃结构有效

专利信息
申请号: 201821451557.7 申请日: 2018-09-06
公开(公告)号: CN208747935U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 张希现;蒋启文;孙厚宽 申请(专利权)人: 芜湖通潮精密机械股份有限公司
主分类号: C03C17/00 分类号: C03C17/00
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 朱圣荣
地址: 241000 安徽省芜湖市经济*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型揭示了一种增大CVD产品沉膜面积的基板玻璃结构,包括基座、边框和玻璃,所述基座边缘设有用于嵌入边框的槽,所述边框固定在基座的槽内,所述玻璃固定在基座和边框上方。本实用新型通过增大CVD产品基板玻璃的沉膜面积,同时增加沉膜保证区面积,增大后的CVD产品基板玻璃沉膜保证区质量无问题,不影响机台稳定性,并能解决基板玻璃的损坏问题。
搜索关键词: 边框 基板玻璃 本实用新型 产品基板 玻璃 机台 玻璃固定 基座边缘 嵌入 保证
【主权项】:
1.一种增大CVD产品沉膜面积的基板玻璃结构,包括基座、边框和玻璃,其特征在于:所述基座边缘设有用于嵌入边框的槽,所述边框固定在基座的槽内,所述玻璃固定在基座和边框上方。
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