[实用新型]一种基于电磁场近场提取导电薄膜表面电导率的测试装置有效
| 申请号： | 201821457164.7 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN209117761U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 易达;魏兴昌;杨彦彬 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;浙江大学自贡创新中心 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01N27/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜表面电导率测试技术，旨在提供一种基于电磁场近场提取导电薄膜表面电导率的测试装置。是在导电薄膜的一侧设置电磁发射源，发射电磁波的方向朝向且垂直于导电薄膜；在水平的导电薄膜上下两侧分别放置磁场近场探头和电场近场探头，两个探头与导电薄膜保持相同间距，两者的连线垂直于导电薄膜。本实用新型对导电薄膜的形状、大小并无严苛要求，可以解决在同轴、波导中进行高频测试时，导电薄膜形状加工精度要求较高、误差较大的问题。同时，本实用新型可以测量导电薄膜任意位置、任意频率、任意时刻的表面电导率，得到薄膜的表面电导率随位置、频率、时间的分布情况，有利于提高薄膜应用的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 导电薄膜 本实用新型 导电薄膜表面 电导率 表面电导率 测试装置 近场探头 电磁场 近场 垂直 电磁发射源 电导率测试 发射电磁波 电场 薄膜表面 薄膜应用 高频测试 精度要求 上下两侧 形状加工 波导 连线 探头 同轴 薄膜 磁场 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于电磁场近场提取导电薄膜表面电导率的测试装置，其特征在于，是在导电薄膜的一侧设置电磁发射源，其发射电磁波的方向朝向且垂直于导电薄膜；电磁发射源与导电薄膜的间距大于2λ，λ为发射电磁波的波长；在水平的导电薄膜上下两侧分别放置磁场近场探头和电场近场探头，两个探头与导电薄膜保持相同间距，两者的连线垂直于导电薄膜。
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