[实用新型]高阶负型光阻剥膜槽有效
| 申请号： | 201821463125.8 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN208766457U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 王彦智 | 申请（专利权）人： | 王彦智 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 张文婷 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高阶负型光阻剥膜槽，包括用于盛装剥膜液的主槽体，主槽体内设有用于固定待剥膜的基板的挂架和能够使剥膜液产生涡流的摇摆机构；主槽体的上端设有循环槽以及底部设有循环管道，该循环管道从主槽体的外部连通至循环槽，循环管道上设有用于使膜渣和溶液分离的系统马达和用于过滤分离后的溶液的过滤器。该高阶负型光阻剥膜槽通过摇摆机构形成的涡流将光刻胶干膜溶解，使干膜细小化，不仅浸泡时间短，剥膜速度快，产能高，而且对高纵横比/高深宽比的剥膜制程，于基板底部不留干膜，产品良率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 剥膜 负型光阻 循环管道 主槽体 干膜 高阶 涡流 摇摆机构 剥膜液 循环槽 基板 过滤器 本实用新型 产品良率 高深宽比 高纵横比 溶液分离 外部连通 光刻胶 上端 产能 挂架 膜渣 制程 主槽 马达 浸泡 溶解 盛装 体内 | ||
【主权项】：
1.一种高阶负型光阻剥膜槽，包括用于盛装剥膜液的主槽体(1)，其特征在于：所述主槽体内设有用于固定待剥膜的基板(2)的挂架和能够使所述剥膜液产生涡流的摇摆机构(3)；所述主槽体的上端设有循环槽(4)以及底部设有循环管道(5)，该循环管道从所述主槽体的外部连通至所述循环槽，所述循环管道上设有用于使膜渣和溶液分离的系统马达(6)和用于过滤分离后的溶液的过滤器(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王彦智，未经王彦智许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821463125.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
