[实用新型]一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置

摘要

本实用新型提供了一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置，包括刷体和设置于刷体上的进水机构、驱动机构，刷体包括第一刷体和第二刷体，所述第二刷体为圆筒状的海绵，第一刷体的外壁还设有多个凹槽，凹槽的槽底还布设多个通孔，第一刷体分别通过两端的台阶孔连接进水机构和驱动机构；所述进水机构包括接头和进水柱，超纯水通过进水柱和接头流入第一刷体的内腔；所述驱动机构包括电机和连接于电机的联轴器，所述联轴器设置于第一刷体另一端的台阶孔内。本实用新型有效提高擦片清洗机对硅片的清洗效果，实现硅抛光片表面的高洁净度要求。

主权项

1.一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置，其特征在于：包括刷体和设置于刷体上的进水机构、驱动机构，所述刷体包括第一刷体和第二刷体，所述第二刷体为圆筒状的海绵，所述第一刷体设置于第二刷体的内部，所述第一刷体为两端开口的圆筒壳体，第一刷体的外壁还设有多个凹槽，所述凹槽与第一刷体的中心轴线相平行，所述凹槽的槽底还布设多个通孔，所述通孔与第一刷体的内腔相连通，第一刷体的两端还分别设有台阶孔，所述第一刷体分别通过两端的台阶孔连接进水机构和驱动机构；所述进水机构包括接头和进水柱，所述接头包括挡板、连接柱和出水柱，所述连接柱设置于第一刷体一端的台阶孔内，连接柱的两端分别连接挡板和出水柱，所述出水柱设置于所述第一刷体的内部，所述挡板设置于第一刷体的外部，所述挡板、连接柱和出水柱上还分别设有互为连通的进水通道，所述进水柱设置于挡板的侧壁上；所述进水柱为圆筒形，进水柱的内腔还与挡板上的进水通道相连通；所述驱动机构包括电机和连接于电机的联轴器，所述联轴器设置于第一刷体另一端的台阶孔内，第一刷体和联轴器相连接的一端端面上预留有销孔，联轴器上的销还通过销孔连接于所述第一刷体；所述电机设置于第一刷体的外部，所述电机还沿第一刷体中轴线的方向连接于所述联轴器。