[实用新型]抛光垫有效
| 申请号： | 201821473729.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208826319U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提出一种抛光垫，具有抛光表面，抛光表面上设有研磨槽。其中，研磨槽的槽深在由抛光垫中心位置至抛光垫边缘位置的方向上渐增。本公开提出的抛光垫在抛光过程中，当抛光垫的转速一定的情况下，根据经典力学原理可知上述研磨槽槽深渐增的设计能够加快研磨液的流速。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光垫 研磨槽 抛光表面 槽深 渐增 抛光垫中心 边缘位置 抛光过程 研磨液 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，具有抛光表面，所述抛光表面上设有研磨槽，其特征在于，所述研磨槽的槽深在由所述抛光垫中心位置至所述抛光垫边缘位置的方向上渐增。
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