[实用新型]静电卡盘通用工装有效
| 申请号： | 201821479923.X | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN209056476U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李亚军;宋微;蒋森林 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 王冰冰 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电卡盘通用工装，包括定夹具和动夹具，所述定夹具包括第一底座和设于第一底座一侧边上用于限位抵触静电卡盘一侧边的第一基准挡块，动夹具包括第二底座和设于第二底座一侧边上用于通过拧紧限位夹紧所述静电卡盘相邻侧边的侧治虎钳。该工装固定产品时稳定，不易晃动滑落。操作便捷、结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 静电卡盘 底座 通用工装 定夹具 动夹具 本实用新型 固定产品 基准挡块 拧紧限位 相邻侧边 工装 虎钳 滑落 夹紧 限位 晃动 抵触 | ||
【主权项】：
1.一种静电卡盘通用工装，其特征在于：包括定夹具和动夹具，所述定夹具包括第一底座和设于第一底座一侧边上用于限位抵触静电卡盘一侧边的第一基准挡块，动夹具包括第二底座和设于第二底座一侧边上用于通过拧紧限位夹紧所述静电卡盘相邻侧边的侧治虎钳。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
