[实用新型]一种检测长焦大离轴量离轴抛物面镜的光学系统有效
| 申请号： | 201821484380.0 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN208736353U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 胡建军;潘君骅;钱煜;王伟 | 申请（专利权）人： | 苏州如期光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26;G01M11/00 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215131 江苏省苏州市相城区经济开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学技术领域，具体涉及一种检测离轴抛物面的光学系统；为解决长焦大离轴量离轴抛物面镜的检测系统光路过长受气流扰动严重以及CCD对被检测工件的检测分辨率低从而导致检测精度下降的技术问题，提出一种检测长焦大离轴量离轴抛物面镜的光学系统；该系统采用偏轴两镜系统将发散镜头虚焦点和偏轴两镜系统的像点重合，有效的缩短了光路长度；再配合标准球面反射镜、标准平面反射镜进一步缩短光路长度且压缩了光路宽度；此外该技术方案使得CCD的像元得到有效利用，增大了被检测工件的检测分辨率，可以有效遏制空气扰动对检验结果的不利影响，提高干涉检验精度，为加工符合技术要求的离轴镜提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 离轴抛物面镜 光学系统 离轴量 种检测 长焦 光路 被检测工件 两镜系统 分辨率 偏轴 检测 标准平面反射镜 标准球面反射镜 光学技术领域 本实用新型 离轴抛物面 发散镜头 技术要求 检测系统 检验结果 空气扰动 气流扰动 虚焦点 重合 离轴 像点 像元 压缩 干涉 检验 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种检测长焦大离轴量离轴抛物面镜的光学系统，其特征在于：该光学系统包括沿着干涉仪发出的光波传播方向依次排布的：发散镜头、标准球面反射镜、用于放置待测长焦大离轴量离轴抛物面镜的调整架、标准平面反射镜；所述的发散镜头将干涉仪发出的光波调制成发散的球面波，发散的球面波经标准球面反射镜反射入射至待测长焦大离轴量离轴抛物面镜，经待测长焦大离轴量离轴抛物面镜反射后的光波为平面波，所述平面波垂直入射至标准平面反射镜后原路返回；所述的标准球面反射镜与待测长焦大离轴量离轴抛物面镜组成偏轴两镜系统，且所述发散镜头虚焦点和偏轴两镜系统的像点重合。
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