[实用新型]一种新型副塔机构有效
申请号: | 201821486358.X | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN208738188U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 李俊强;李辉;王体 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 李俊 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型副塔机构,包括支撑板、副塔进气固定板、吸尘筒和副盘吸头,所述支撑板设置在支撑座的上方,支撑板与支撑座嵌合,所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方,并在副塔进气固定板的两端设置轴承,所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上,并与气路连通,所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上,并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒,本实用新型采用2根导向杆,能够保证石墨盘和副盘吸头固定座的底面完全贴合,且加工难度大大降低,装配简易方便,稳定性明显提升;采用直通的气路,与石墨盘的气腔直通,对气流影响更小,正压负压切换更及时,保证了机构运行的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 支撑板 副塔 固定座 吸尘筒 副盘 吸头 固定板 进气 本实用新型 石墨盘 支撑座 两端设置轴承 负压切换 气流影响 气路连通 导向杆 倾斜端 竖直端 底面 气路 气腔 嵌合 贴合 正压 装配 简易 保证 加工 | ||
【主权项】:
1.一种新型副塔机构,包括副塔支撑座、伺服电机、支撑板、导向杆、导杆套、副塔进气固定板、端盖、副塔感应器固定块、感应器固定座组合件A、感应器固定座组合件B、光线感应器A、光线感应器B、轴承、气管弯头、吸尘管、导通接线片、压紧片、导通片固定座、副盘吸头固定座、气路、A工位、B工位、C工位、D工位、副塔石墨盘、电磁阀、吸尘筒固定座、吸尘筒、产品、副盘吸头和压簧,其特征在于,所述支撑板设置在支撑座的上方,支撑板与支撑座嵌合,并通过螺钉连接,并在支撑板的倾斜端面下设置伺服电机,伺服电机通过螺钉连接支撑板,同时在伺服电机上方的支撑板上设置导通片固定座,导通片固定座的两侧设置导通接线片,位于D工位的下方区域,并且导通接线片连接旋转的副盘吸头固定座,并在导通接线片的外侧设置压紧片,所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方,并在副塔进气固定板的两端设置轴承,轴承内设置导向杆,并在导向杆的顶端设置端盖,同时在轴承的外侧设置压簧,压簧分别与副塔进气固定板和支撑板连接,另在支撑板上设置导杆套,所述气管弯头设置在副塔进气固定板的两侧,并在支撑板的竖直端的侧边上设置电磁阀,气管弯头与电磁阀的接口连接,所述副塔石墨盘设置在副塔进气固定板的上方,并且副塔石墨盘通过螺钉连接副塔进气固定板,所述副盘吸头固定座设置在伺服电机的轴端,并位于副塔石墨盘的上方,并在副盘吸头固定座上设置A工位、B工位、C工位和D工位,同时在副盘吸头固定座内设置气路,气路分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应,并且气路,所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上,副盘吸头内设置产品,并且副盘吸头分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应,并与气路连通,所述副塔感应器固定块设置在支撑板的一侧,副塔感应器固定块上设置感应器固定座组合件A,并在支撑板的左端设置感应器固定座组合件B,同时在感应器固定座组合件A和感应器固定座组合件B上分别设置光线感应器A和光线感应器B,所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上,并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒,吸尘筒连接吸尘管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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