[实用新型]晶圆晶边清洗装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆晶边清洗装置，包括：晶圆卡盘；位置传感装置，设置于晶圆卡盘上，用于感测晶圆的边缘的至少三个边缘位置坐标；数据处理终端，用于接收各边缘位置坐标，并基于各边缘位置坐标换算出圆心位置坐标，继而将圆心位置坐标与晶圆卡盘中心的位置进行比对，以基于比对结果判断是否继续进行晶圆的晶边光刻胶清洗。本实用新型可以实时监测晶圆与晶圆卡盘之间的位置关系，判断晶圆是否发生偏移，及时发现缺陷并进行处理，从而在晶圆晶边清洗工艺之前及时调整晶圆的位置，保证在晶圆清理时具有精确的洗边宽度，提高洗边效果，改善了晶圆边缘脱落缺陷，提高产品性能及产品良率。

主权项

1.一种晶圆晶边清洗装置，用于对晶圆的晶边光刻胶进行清洗，其特征在于，包括：晶圆卡盘，用于承载晶圆；设置于所述晶圆下方的至少三个位置传感装置，用于对应感测所述晶圆的边缘相对于所述晶圆卡盘中心的至少三个边缘位置坐标，其中，所述边缘位置坐标用于确定出所述晶圆的圆心相对于所述晶圆卡盘中心的圆心位置坐标；以及数据处理终端，用于接收各所述边缘位置坐标，并基于各所述边缘位置坐标换算出所述晶圆的圆心位置坐标，继而将所述晶圆的圆心位置坐标与所述晶圆卡盘中心的位置进行比对，以基于比对结果判断是否继续进行所述晶圆的晶边光刻胶清洗。