[实用新型]一种晶圆流片生产用加工装置有效

专利信息
申请号: 201821494768.9 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN209492016U 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 王昌华 申请(专利权)人: 江苏英锐半导体有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67
代理公司: 常州市权航专利代理有限公司 32280 代理人: 袁兴隆
地址: 224002 江苏省盐城市经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置,其可对两组切割器输出端间的距离进行调整,以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整,提高适应能力;同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整,以便能切割多种厚度的晶圆流片,降低使用局限性;且增强晶圆流片在放置架上的稳固性,提高切割效果,增强使用性;同时增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果,提高使用可靠性;包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架;还包括后支板、左测量件、左测量尺、右测量件和右量尺寸;放置架包括下伸缩电机和放置板;还包括固定件;还包括支撑件和透明防护板。
搜索关键词: 流片 放置架 晶圆 切割器 两组 切割 加工装置 测量件 输出端 种晶 本实用新型 透明防护板 附属装置 切割过程 伸缩电机 伺服电机 安装座 测量尺 放置板 固定件 后支板 使用性 稳固性 支撑件 工作台 支架 生产
【主权项】:
1.一种晶圆流片生产用加工装置,包括工作台(1)、支架(2)、伺服电机(3)、两组安装座(4)、两组切割器(5)和放置架,支架设置在工作台顶端,伺服电机设置在支架顶端,伺服电机的底部输出端上设置有转动轴(6),并在转动轴上设置有连接架,两组切割器分别设置在两组安装座底端,且两组切割器输出端均冲下,放置架设置在工作台顶端;其特征在于,还包括后支板(7)、左测量件(8)、左测量尺(9)、右测量件和右量尺寸(10),所述连接架包括连接块(11)、左电动伸缩杆(12)和右电动伸缩杆,连接块设置在转动轴底端,所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上,两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上,所述支板设置在支架内顶壁后侧,左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上,所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上,且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触;所述放置架包括下伸缩电机(13)和放置板(14),工作台顶端设置有安装槽,下伸缩电机设置在安装槽内,所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆,放置板设置在下驱动杆顶端;还包括固定件(15),所述固定件设置在连接块底端,且固定件位于放置板正上方;还包括支撑件和透明防护板(16),所述工作台顶端前侧设置有放置槽,支撑件设置在放置槽内,所述透明防护板设置在支撑件顶端,且透明防护板位于放置架前侧。
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