[实用新型]一种防止光罩掉落毁损的装置有效
| 申请号： | 201821495757.2 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN208780988U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 林金锡;许哲维 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件，在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，会通过红外传感器感应器，进而启动滑动机构，使得承接件跟随滑动机构朝外伸展，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毁损。同时通过控制单元内置的定时器，可以人工设定滑动机构伸出承接件的时长，当定时的时间达到时，则通过滑动机构缩回承接件，解决了光罩掉落毁损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动机构 光罩 承接件 掉落 毁损 竖直滑架 光刻机 红外传感器 红外传感器感应 定时器 本实用新型 缩回 朝外 内置 时长 伸展 承接 伸出 安全 | ||
【主权项】：
1.一种防止光罩掉落毁损的装置，其特征在于：包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件；所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部，滑动机构设置在光刻机竖直滑架上，且滑动机构位于红外传感器的下方，红外传感器与控制单元电连接，承接件设置在滑动机构的输出端上，控制单元与滑动机构电连接，承接件用于承接并防护掉落的光罩；滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。
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