[实用新型]一种沉积炉管

摘要

本实用新型提供一种沉积炉管，包括反应腔、加热器、晶舟、底座及辅助加热部。反应腔的一端封闭，另一端具有开口。加热器围绕反应腔的外周设置。晶舟位于反应腔内，用于承载多个批次的晶圆。底座支撑晶舟，底座能够带动晶舟移入反应腔并将开口封闭，或带动晶舟移出反应腔。辅助加热部设置于反应腔的一端，位于晶舟的上方，辅助加热部配置为在加热器加热的同时对位于晶舟顶部的晶圆的中部加热。

主权项

1.一种沉积炉管，其特征在于，包括：反应腔，其一端封闭，另一端具有开口；加热器，围绕反应腔的外周设置；晶舟，位于反应腔内，用于承载多个批次的晶圆；底座，支撑晶舟，底座能够带动晶舟移入反应腔并将开口封闭，或带动晶舟移出反应腔；及辅助加热部，设置于反应腔的一端，位于晶舟的上方，配置辅助加热部为在加热器加热的同时对位于晶舟顶部的晶圆的中部加热。