[实用新型]一种用于多穴电阻蒸发装置有效
| 申请号： | 201821523611.4 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN208762570U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 朱选敏;郭爱云 | 申请（专利权）人： | 武汉科瑞达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 430075 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱、安装柱、阻蒸坩埚、坩埚托盘、托盘转轴、腔体、步进电机，所述坩埚托盘通过托盘转轴安装在磁流体上，所述安装柱安装在腔体上，所述托盘转轴由步进电机带动，所述坩埚托盘上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚，所述阻蒸坩埚底部对应位置安装有一个圆形的加热盘；所述安装柱下端通过有联轴环固定在绝缘套内，再通过锁紧螺母固定，本实用新型阻蒸钳埚与加热盘就完全分离设计，只需要转动托盘转轴，即可以对钳埚托盘上的每一个阻蒸钳埚进行加热，而且设计简单，加热效果好，维护也非常方便。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘转轴 坩埚托盘 安装柱 坩埚 本实用新型 步进电机 蒸发装置 加热盘 电阻 腔体 底部对应位置 托盘 加热效果 均匀安装 锁紧螺母 托盘边缘 完全分离 转动托盘 磁流体 接线柱 绝缘套 联轴环 下端 转轴 加热 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于多穴电阻蒸发装置，包括有阻蒸接线柱(1)、安装柱(5)、阻蒸坩埚(7)、坩埚托盘(8)、托盘转轴(9)、腔体(11)、步进电机(12)，所述坩埚托盘(8)通过托盘转轴(9)安装在磁流体(10)上，所述安装柱(5)安装在腔体(11)上，所述托盘转轴(9)由步进电机(12)带动，其特征在于：所述坩埚托盘(8)上围绕托盘边缘位置均匀安装有多个圆形的阻蒸坩埚(7)，所述阻蒸坩埚(7)底部对应位置安装有一个圆形的加热盘(6)；所述安装柱(5)下端通过有联轴环(4)固定在绝缘套(3)内，再通过锁紧螺母(2)固定。
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