[实用新型]存储器结构有效
申请号: | 201821529790.2 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN209029382U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 夏志良;陈俊;鲍琨;董金文;华文宇;靳磊;江宁;刘峻 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/11551 | 分类号: | H01L27/11551;H01L27/11578 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 董琳 |
地址: | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种存储器结构,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。所述存储器的性能得到提高。 | ||
搜索关键词: | 导电区域 衬底层 存储器结构 隔离结构 存储层 屏蔽层 背面 本实用新型 存储器 隔离 外围 包围 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种存储器结构,其特征在于,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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