[实用新型]一种真空系统氦气恒压控制装置有效
| 申请号： | 201821531124.2 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208607537U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李亚运;柳浩;颜碧波;陈义和;李交美;佘磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所 42001 | 代理人： | 李鹏;王敏锋 |
| 地址： | 430071 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空系统氦气恒压控制装置，包括真空系统，还包括分子泵装置和氦漏，分子泵装置包括分子泵电源、分子泵、波纹管和真空角阀，氦漏包括石英管和缠绕在石英管上的氦漏加热丝，真空系统的测量法兰与残余气体分析仪的测量端连接，残余气体分析仪的数据输出端与数据采集模块的输入端连接，数据采集模块的输出端与控制比较单元的输入端连接，控制比较单元的输出端与数字电源的控制端连接。本实用新型的数字电源的电源输出端输出的电压可通过氦气压强进行反馈控制，控制精度高，且不受环境温度及氦漏进气端和出气端的氦气压强差变化的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 真空系统 分子泵 残余气体分析 恒压控制装置 控制比较单元 数据采集模块 本实用新型 输入端连接 数字电源 石英管 输出端 氦气 气压 电源输出端 数据输出端 反馈控制 真空角阀 出气 波纹管 测量端 测量法 加热丝 进气端 控制端 缠绕 电源 输出 | ||
【主权项】：
1.一种真空系统氦气恒压控制装置，包括真空系统，其特征在于，还包括分子泵装置和氦漏，分子泵装置包括分子泵电源、分子泵、波纹管和真空角阀，分子泵电源与分子泵的电源输入端连接，分子泵的输出端通过波纹管与真空系统上的分子泵法兰连接，真空角阀设置在波纹管上，氦漏包括石英管和缠绕在石英管上的氦漏加热丝，石英管一端为出气端且与真空系统上的氦漏法兰连接，石英管另一端为进气端且通过减压阀与氦气钢瓶连接，氦漏加热丝与数字电源的电源输出端连接，真空系统的测量法兰与残余气体分析仪的测量端连接，残余气体分析仪的数据输出端与数据采集模块的输入端连接，数据采集模块的输出端与控制比较单元的输入端连接，控制比较单元的输出端与数字电源的控制端连接。
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