[实用新型]一种晶圆烘箱自动门有效
| 申请号： | 201821532718.5 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208779908U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 刘剑;侯华 | 申请（专利权）人： | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘童笛 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体涉及一种晶圆烘箱自动门,包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器，所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连，所述控制器能够连接烘箱系统，且接受烘箱系统的电信号，从而控制所述磁力锁和推门气缸。该晶圆烘箱自动门，当烘箱烘烤程序结束时，控制器接收到烘烤结束的信息之后将磁力锁断开，并控制推门气缸将门体推开，烘箱内开始降温，避免出现过烘的情况，大大的增加了产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 烘箱 推门气缸 控制器 磁力锁 自动门 烘箱系统 烘烤 种晶 本实用新型 程序结束 芯片生产 晶圆 门体 断开 合格率 推开 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆烘箱自动门，其特征在于，包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器，所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连，所述控制器能够连接烘箱系统，且接受烘箱系统的电信号，从而控制所述磁力锁和推门气缸。
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