[实用新型]一种用于检测晶圆背面的形貌的检测设备有效
| 申请号： | 201821535715.7 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208872266U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 罗肖飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于检测晶圆背面的形貌的检测设备，其中，检测设备包括晶圆背面检测装置、边缘区域吸盘及中心区域吸盘；晶圆背面检测装置位于晶圆背面下方与晶圆平行设置；边缘区域吸盘用于吸附晶圆背面边缘区域，并显露晶圆背面中心区域；中心区域吸盘用于吸附晶圆背面中心区域，且中心区域吸盘的水平截面不大于晶圆背面中心区域。可获得晶圆背面的具体形貌，准确的判断晶圆背面的杂质的位置及大小，降低生产成本、提高生产效率、节约人力资源及提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆背面 中心区域 吸盘 晶圆 形貌 边缘区域 检测设备 检测装置 吸附 本实用新型 平行设置 人力资源 生产效率 水平截面 检测 显露 节约 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测晶圆背面的形貌的检测设备，所述晶圆包括晶圆背面中心区域以及包围所述晶圆背面中心区域的晶圆背面边缘区域，其特征在于，所述检测设备包括：晶圆背面检测装置，位于所述晶圆背面下方与所述晶圆平行设置；边缘区域吸盘，用于吸附所述晶圆背面边缘区域，并显露所述晶圆背面中心区域；中心区域吸盘，用于吸附所述晶圆背面中心区域，且所述中心区域吸盘的水平截面不大于所述晶圆背面中心区域。
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