[实用新型]一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备有效
| 申请号： | 201821537401.0 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208883972U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 高鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山彰鑫金属真空热处理科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备，包括真空室、热阴极、工件架、辅助阳极、热阴极弧光放电电源、热阴极加热电源以及工作偏压电源；所述热阴极、工件架以及辅助阳极均位于真空室内，所述真空室内靠近热阴极的位置处设置有进气管道和加热管，所述辅助阳极与工件架的位置相对应，所述热阴极加热电源与热阴极电性连接并且形成串联回路，所述辅助阳极通过热阴极弧光放电电源与热阴极电性连接，所述工作偏压电源的正极与真空室电性连接、负极与工件架电性连接。本实用新型对渗氮设备进行重新设计，采用弧光放电电源，克服等离子体密度低、渗氮效率低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 热阴极 弧光放电 辅助阳极 工件架 电源 电性连接 本实用新型 工作偏压 加热电源 离子渗氮 等离子体 室内 正极 负极 串联回路 进气管道 渗氮设备 效率低等 真空室电 重新设计 加热管 位置处 真空室 渗氮 | ||
【主权项】：
1.一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备，其特征在于：包括真空室(1)、热阴极(3)、工件架(6)、辅助阳极(7)、热阴极弧光放电电源(9)、热阴极加热电源(10)以及工作偏压电源(11)；所述热阴极(3)、工件架(6)以及辅助阳极(7)均位于真空室(1)内，所述真空室(1)内靠近热阴极(3)的位置处设置有进气管道(4)和加热管(2)，所述辅助阳极(7)与工件架(6)的位置相对应，所述热阴极加热电源(10)与热阴极(3)电性连接并且形成串联回路，所述辅助阳极(7)通过热阴极弧光放电电源(9)与热阴极(3)电性连接，所述工作偏压电源(11)的正极与真空室(1)电性连接、负极与工件架(6)电性连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山彰鑫金属真空热处理科技有限公司，未经昆山彰鑫金属真空热处理科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821537401.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制备高氮氮化锰用电加热式高效节能氮化炉
- 下一篇：进出片室和真空镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
