[实用新型]一种用于化学气相沉积反应的源瓶

摘要

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积反应的源瓶，其包括上盖、瓶身和加热带；所述上盖和所述瓶身密封连接，所述瓶身的外表面设置有加热带；所述瓶身内用于盛放反应源，所述瓶身和所述上盖中的至少一者上设置有伸入所述反应源的热交换结构，所述热交换结构未将所述反应源完全隔离，并用于将所述加热带的热量传导至反应源。通过热交换结构的设置，瓶身温度能更快的接近反应源的真实温度，缩短瓶身的温度改变滞后于反应源的温度改变的时间，有效避免温度过冲问题；提高瓶身和上盖与反应源的热交换效率，缩短温控反馈时间；由于热交换效率的提高，相同体积的源瓶能够提供更高通量的气体，能够满足高通量的化学气相沉积的要求。

主权项

1.一种用于化学气相沉积反应的源瓶，其特征在于，其包括上盖(10)、瓶身(13)和加热带；所述上盖(10)和所述瓶身(13)密封连接，所述瓶身(13)的外表面设置有加热带；所述瓶身(13)内用于盛放反应源(9)，所述瓶身(13)和所述上盖(10)中的至少一者上设置有伸入所述反应源(9)的热交换结构，所述热交换结构未将所述反应源(9)完全隔离，并用于将所述加热带的热量传导至反应源(9)。