[实用新型]一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构有效
| 申请号： | 201821552469.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN211814708U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 杨光宇 | 申请（专利权）人： | 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构，包括固定底座，所述固定底座顶部固定连接有夹持装置，所述夹持装置包括支撑筒、定位杆、限位块、转动头、卡接件、支撑板、挡板、定位块、转轴、滚动柱和缓冲件，所述固定底座固定套接在支撑筒外侧，且支撑筒内部设有通孔，所述定位杆设有三个，且三个定位杆等角度固定在固定底座顶部，所述定位杆位于支撑筒外侧，且限位块固定连接在定位杆顶部，所述转动头通过销轴与限位块铰接，此区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构，通过支撑筒外侧三个滚动柱，从而对单晶硅棒进行夹持稳定，同时三个滚动柱在长期使用后可以快速更换，提高了单晶硅棒的生产速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区熔单晶炉 单晶硅 夹持 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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