[实用新型]高温插板阀及连续真空镀膜装置有效
申请号: | 201821554889.8 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN208845766U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 郭爱云;汪友林;王君 | 申请(专利权)人: | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
主分类号: | F16K3/314 | 分类号: | F16K3/314;F16K49/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 周宇 |
地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种高温插板阀及连续真空镀膜装置。所述高温插板阀包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道,阀体上设有第一通孔和第二通孔,通过支撑板与密封板对第一通孔和第二通孔进行密封封堵,实现高温插板阀的密封;支撑板和密封板上设有阀板冷却水道,通过向阀板冷却水道内通入循环冷却水对支撑板与密封板进行降温,同时也是对阀体进行降温,从而使插板阀在对两个高温腔体进行密封时,仍能保证插板阀温度在适宜使用的范围内,具有良好的密封性能,实现对高温真空腔体的密封。 | ||
搜索关键词: | 插板阀 密封板 支撑板 通孔 密封 冷却水道 阀板 阀体 连续真空镀膜装置 真空镀膜技术 本实用新型 伞形连接件 循环冷却水 高温腔体 高温真空 密封性能 封堵 腔体 保证 | ||
【主权项】:
1.一种高温插板阀,其特征在于,包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道;所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔,所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔,所述第一通孔与所述第二通孔相对设置;所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内,所述支撑板用于封堵所述第一通孔,所述密封板用于封堵所述第二通孔,且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接;所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道,所述支撑板冷却水道设置于所述支撑板上,所述密封板冷却水道设置于所述密封板上。
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