[实用新型]一种旋转靶材的厚度检测装置有效
申请号: | 201821556665.0 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN209243161U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 陈躬德;赵小虎;陈魁 | 申请(专利权)人: | 福建省创飞新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/32;G01B11/06 |
代理公司: | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人: | 李明通 |
地址: | 350300 福建省福州市福清市石竹*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种旋转靶材的厚度检测装置,特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括支撑腿、支撑板、基座、移动底座、第一夹块、气缸、第二夹块、支架、激光发射器、透镜、信号处理机构、防滑凸起、激光接收器、光电转换器,所述支撑板上设有两个所述基座,每个所述基座上设有滑行轨道,所述基座上方设有所述移动底座,所述移动底座底部设有与所述滑行轨道相匹配的滑块,其中一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述气缸,所述气缸通过活塞杆与所述第二夹块一端相连,其中另一个所述基座上的每个所述移动底座上固定有所述第一夹块,所述第一凹槽与所述第二凹槽相对设置。方便快速,提高靶材厚度检测精度和准确度,适用性强。 | ||
搜索关键词: | 移动底座 夹块 气缸 厚度检测装置 本实用新型 滑行轨道 旋转靶材 支撑板 靶材 透镜 信号处理机构 光电转换器 激光发射器 激光接收器 准确度 防滑凸起 厚度检测 相对设置 活塞杆 支撑腿 滑块 支架 匹配 制造 | ||
【主权项】:
1.一种旋转靶材的厚度检测装置,其特征在于,包括支撑腿(1)、支撑板(2)、基座(3)、移动底座(4)、第一夹块(5)、气缸(6)、第二夹块(8)、支架(9)、激光发射器(10)、透镜(11)、信号处理机构(12)、防滑凸起(13)、激光接收器(14)、光电转换器(15),所述支撑腿(1)上固定设有支撑板(2),所述支撑板(2)上平行设有两个所述基座(3),两个所述基座(3)之间设有所述激光接收器(14),每个所述基座(3)上至少设有两个滑行轨道(31),所述基座(3)上方设有所述移动底座(4),所述移动底座(4)底部设有与所述滑行轨道(31)相匹配的滑块(41),其中一个所述基座(3)上的每个所述移动底座(4)上固定有所述气缸(6),所述气缸(6)通过活塞杆(7)与所述第二夹块(8)一端相连,所述第二夹块(8)另一端面中部开设有第二凹槽(81),其中另一个所述基座(3)上的每个所述移动底座(4)上固定有所述第一夹块(5),所述第一夹块(5)一端面中部开设有第一凹槽(51),所述第一凹槽(51)与所述第二凹槽(81)相对设置,所述第一凹槽(51)内壁设有第一防滑件(52),所述第二凹槽(81)内壁设有第二防滑件(82),所述支撑板(2)上还设有所述支架(9),所述支架(9)上方设有所述信号处理机构(12)和所述光电转换器(15),所述支架(9)上固定有所述激光发射器(10),所述激光发射器(10)下方设有所述透镜(11),所述透镜(11)通过固定杆固定在所述支架(9)一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省创飞新材料科技有限公司,未经福建省创飞新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821556665.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:管状玻璃真空镀膜装置
- 下一篇:一种新型的靶材冷却装置
- 同类专利
- 专利分类