[实用新型]光刻机物镜冷却装置有效
| 申请号： | 201821556788.4 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208969428U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 杨维;陈冬;刘福城 | 申请（专利权）人： | 深圳市致行科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻机物镜冷却装置，包括物镜，物镜套设有壳体，壳体包括冷却套筒与外壳，冷却套筒套接于物镜，冷却套筒外壁设有螺旋状的主冷却槽，外壳套设于冷却套筒使冷却套筒与外壳之间形成一螺旋状冷却通道，壳体的两端分别设有与冷却通道连通的接头。通过上述设置，在冷却套筒上开有螺旋状的主冷却槽，然后在冷却套筒外套设外壳，外壳内壁与主冷却槽形成螺旋状冷却通道，在冷却通道内通冷却液，使物镜直接与冷却套筒接触进行传热，螺旋状的冷却通道比直线的冷却管传热更均匀，并且可以通过拆装外壳定期对冷却通道进行清理，减少了水垢对传热效率的影响；两端的接头分别与冷却液循环装置连接，使冷却通道内的冷却液保持恒温。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却套筒 冷却通道 物镜 冷却槽 螺旋状 壳体 螺旋状冷却通道 光刻机物镜 传热 冷却装置 冷却液 冷却液循环装置 本实用新型 传热效率 外壳内壁 冷却管 外壳套 拆装 水垢 套接 外壁 连通 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机物镜冷却装置，包括物镜(1)，所述物镜(1)套设有壳体，其特征是：所述的壳体包括冷却套筒(11)与外壳(2)，所述的冷却套筒(11)套接于物镜(1)，所述冷却套筒(11)外壁设有螺旋状的主冷却槽(12)，所述外壳(2)套设于所述冷却套筒(11)使冷却套筒(11)与外壳(2)之间形成一螺旋状冷却通道，所述壳体的两端分别设有与所述冷却通道连通的接头(3)。
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