[实用新型]质谱分析器及其光学系统

摘要

本实用新型涉及一种质谱分析器及其光学系统。光学系统中激光的入射方向与离子源腔体的轴线方向所形成的角度非常小，激光电离产生的粒子的初始速度方向基本是沿离子源腔体的中轴方向发散，因此离子的初始动能发散较小，有利于提高质谱分析器的分辨率及灵敏度。而照明单元发出的照明光和成像光路与离子源腔体的轴线方向所形成的角度也非常小，且照明和成像方向完全对称，因而照明光源在样品靶板表面产生的照射面积与成像单元成像的面积的交叉范围可以达到最大化，既可以避免邪影效应的产生，又能够大大提高成像的范围，进而成像质量大大提高。

主权项

1.一种质谱分析器的光学系统，其特征在于，包括激光单元、照明单元、成像单元以及光学反射机构；所述激光单元、所述照明单元以及所述成像单元设于所述质谱分析器的离子源腔体的外部，所述光学反射机构设于所述离子源腔体的内部；所述激光单元发出的激光经所述光学反射机构反射后射到样品表面且反射的激光光线与垂直于样品靶板的轴线的夹角大于0°且不大于10°；所述照明单元发出的照明光经所述光学反射机构反射后照射到样品表面且经所述光学反射机构反射后的照明光光线与垂直于样品靶板的轴线的夹角大于0°且不大于10°；所述样品反射的照明光经由所述光学反射机构反射后射入所述成像单元，所述成像单元用于接收由所述样品反射的照明光以用于样品成像。