[实用新型]一种c向蓝宝石晶体的生长设备有效
| 申请号： | 201821560721.8 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208949444U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种c向蓝宝石晶体的生长设备，它包括炉体、坩埚、坩埚盖、炉盖、籽晶杆、发热体、保温结构、双层顶部电极和双层底部电极，坩埚盖为不同内径的同心钼圆环通过钼螺杆连接叠加组成，同心钼圆环均匀间距设置，且与坩埚的结构匹配，籽晶杆设置在坩埚上部，保温结构包括侧反射屏、侧隔热层、上部隔热层和底部隔热层，侧反射屏设置在坩埚外侧，侧隔热层设置在侧反射屏外侧，上部隔热层设置在坩埚盖上方，底部隔热层设置在双层底部电极下方；发热体包括双层上发热体和双层下加热体，分别连接设置在炉内双层顶部电极和双层底部电极上，双层上发热体和双层下加热体衔接部分为直角三角形结构，且不接触。本实用新型设置双层上下分段式发热体，通过调节发热功率比值，能够有效、快速调节温度梯度，保证合理的温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热层 坩埚 底部电极 发热体 反射屏 坩埚盖 本实用新型 蓝宝石晶体 保温结构 上发热体 生长设备 双层顶部 温度梯度 下加热体 籽晶杆 电极 圆环 同心 直角三角形结构 发热功率 间距设置 结构匹配 快速调节 连接设置 螺杆连接 不接触 分段式 炉盖 炉内 炉体 叠加 衔接 保证 | ||
【主权项】：
1.一种c向蓝宝石晶体的生长设备，它包括炉体、坩埚、坩埚盖、炉盖、籽晶杆、发热体和保温结构，其特征在于它还包括双层顶部电极和双层底部电极，坩埚盖为不同内径的同心钼圆环通过钼螺杆连接叠加组成，同心钼圆环均匀间距设置，且与坩埚的结构匹配，籽晶杆设置在坩埚上部，保温结构包括侧反射屏、侧隔热层、上部隔热层和底部隔热层，侧反射屏设置在坩埚外侧，侧隔热层设置在侧反射屏外侧，上部隔热层设置在坩埚盖上方，底部隔热层设置在双层底部电极下方；发热体包括双层上发热体和双层下加热体，分别连接设置在炉内双层顶部电极和双层底部电极上，双层上发热体和双层下加热体衔接部分为直角三角形结构，且不接触。
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