[实用新型]一种用于单晶硅切割用真空吸盘

摘要

本实用新型公开了一种用于单晶硅切割用真空吸盘，包括吸盘、连接管和双通件，所述吸盘内部固定有支撑板，所述支撑板上呈环形阵列开设有五个圆孔，所述圆孔外侧的支撑板上表面呈矩形阵列固定有四个套柱，所述套柱内滑动安装有内柱，所述内柱顶端固定有圆块，所述圆块下表面与套柱上表面之间固定有弹簧，所述弹簧套在内柱上，且弹簧与内柱不固定，所述圆块上表面贴合固定有硅胶垫，所述硅胶垫上表面低于吸盘顶端平面1mm，所述连接管顶端与吸盘底端固定连接，所述连接管底端与双通件顶端固定连接，所述双通件一侧固定有气管。本实用新型具有吸住单晶硅片，在吸盘内提供支撑点，保持单晶硅片切割时稳定的优点。

主权项

1.一种用于单晶硅切割用真空吸盘，包括吸盘（1）、连接管（2）和双通件（4），其特征在于：所述吸盘（1）内部固定有支撑板（5），所述支撑板（5）上呈环形阵列开设有五个圆孔（13），所述圆孔（13）外侧的支撑板（5）上表面呈矩形阵列固定有四个套柱（7），所述套柱（7）内滑动安装有内柱（8），所述内柱（8）顶端固定有圆块（10），所述圆块（10）下表面与套柱（7）上表面之间固定有弹簧（9），所述圆块（10）上表面贴合固定有硅胶垫（11），所述连接管（2）顶端与吸盘（1）底端固定连接，所述连接管（2）底端与双通件（4）顶端固定连接，所述双通件（4）一侧固定有气管（3）。