[实用新型]排气式矩形工作台有效
| 申请号： | 201821566707.9 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN209007492U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 殷泽安;刘操;曹志彬 | 申请（专利权）人： | 东莞市译码半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 李韵 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种排气式矩形工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的横截面呈矩形状，工作台本体中开有若干第一轴向排气槽及第二轴向排气槽，第一轴向排气槽与第二轴向排气槽相互垂直交叉，工作台本体上开有一排气孔及多个放电通气孔，排气孔、多个放电通气孔均分别设置于第一轴向排气槽与第二轴向排气槽交叉处，工作台本体的中部设有连接头，连接头上设有多个通孔，通孔与放电通气孔相贯通。本实用新型工作台本体中的连接头与抽气装置连接，抽气装置开启使连接头中的通孔与工作台本体的放电通气孔、第一轴向排气槽、第二轴向排气槽、矩形排气槽形成气道，将半导体多晶硅芯片与工作台本体之间的空气排空，利用气压差便于二次加工。 | ||
| 搜索关键词： | 排气槽 工作台本体 第二轴 第一轴 通气孔 放电 连接头 通孔 排气孔 排气式 抽气装置连接 本实用新型 矩形工作台 抽气装置 垂直交叉 二次加工 空气排空 多晶硅 交叉处 矩形状 气压差 气道 半导体 贯通 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种排气式矩形工作台，包括工作台本体，其特征在于：所述工作台本体的横截面呈矩形状，工作台本体中开有若干第一轴向排气槽及第二轴向排气槽，第一轴向排气槽与第二轴向排气槽相互垂直交叉，工作台本体上开有一排气孔及多个放电通气孔，排气孔、多个放电通气孔均分别设置于第一轴向排气槽与第二轴向排气槽交叉处，工作台本体的中部设有连接头，连接头上设有多个通孔，通孔与放电通气孔相贯通。
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