[实用新型]一种水刀装置

摘要

本实用新型公开了一种水刀装置，包括传动皮带、转动轴承、驱动皮带轮、从动皮带轮、轴承、水刀、入水管道、入水转接器、水刀入水管道、装置外壳、电机固定架、电机以及从动皮带轮转动轴，本实用新型针对半导体湿式制程中采用喷嘴清洗易造成清洗不均匀的问题对清洗装置进行改进，将传统的喷嘴清洗装置改为两个喷管套装结构，所述内部喷管喷嘴为分布均匀的圆形喷孔，所述外部喷管的喷嘴改为长条缝隙型，水或者化学试剂经过喷孔进入两管之间的部分，然后再经过外喷管的长条缝喷嘴喷出，形成一面薄薄的水幕。长条缝喷嘴范围内水幕不间断且出口压力一致，从而可以保证对晶圆清洗的均匀性。另外采用长条缝喷嘴出水量更大，也更适合浸泡式清洗方式。

主权项

1.一种水刀装置，包括传动皮带(1)、转动轴承(2)、驱动皮带轮(3)、从动皮带轮(4)、轴承(5)、水刀(6)、入水管道(7)、入水转接器(8)、水刀入水管道(9)、装置外壳(10)、电机固定架(11)、电机(12)以及从动皮带轮转动轴(13)，其特征在于，所述电机(12)通过电机固定架(11)固定于装置外壳(10)下端，所述驱动皮带轮(3)安装于转动轴承(2)一端，所述转动轴承(2)另一端与电机(12)输出轴承连接，所述从动皮带轮(4)安装于从动皮带轮转动轴(13)一端，所述从动皮带轮转动轴(13)另一端穿过轴承(5)与水刀(6)一端连接，所述轴承(5)安装于装置外壳(10)一侧，所述传动皮带(1)连接驱动皮带轮(3)与从动皮带轮(4)，所述水刀(6)设于装置外壳(10)内侧，所述水刀入水管道(9)连接水刀(6)无从动皮带轮转动轴(13)的一端，所述水刀入水管道(9)穿过轴承(5)与入水转接器(8)连接，所述入水转接器(8)固定于装置外壳(10)上，所述水转接器(8)上连接有入水管道(7)；所述入水转接器(8)用于将旋转入水管道与固定入水管道分开，所述水刀入水管道(9)为旋转管道，所述入水管道(7)为固定管道。