[实用新型]一种CVD设备尾气收集处理装置

摘要

本实用新型公开了一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱，所述处理箱的下表面中间位置固定连接有进气管，所述进气管的一侧侧壁铰接有投放门，所述投放门的一侧侧壁固定连接有把手，所述投放门的侧壁靠近把手的一侧转动连接有卡接块，所述卡接块设置在把手的下方，所述进气管的侧壁靠近投放门的一侧纵向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑槽的内侧壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端与滑块固定连接，所述处理箱的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱和通气管。本实用新型废气收集处理的效果好，尤其是氯化氢气体和氟化氢气体，避免资源的浪费和环境的污染，过滤装置可以方便拆卸和安装，便于清理。

主权项

1.一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱(1)，其特征在于，所述处理箱(1)的下表面中间位置固定连接有进气管(11)，所述进气管(11)的一侧侧壁铰接有投放门(13)，所述投放门(13)的一侧侧壁固定连接有把手(12)，所述投放门(13)的侧壁靠近把手(12)的一侧转动连接有卡接块(18)，所述卡接块(18)设置在把手(12)的下方，所述进气管(11)的侧壁靠近投放门(13)的一侧纵向开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)的内部滑动连接有滑块(17)，所述滑槽(14)的内侧壁固定连接有压缩弹簧(15)，所述压缩弹簧(15)的另一端与滑块(17)固定连接，所述处理箱(1)的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱(4)和通气管(9)，所述澄清石灰水箱(4)设置在通气管(9)的一侧，所述澄清石灰水箱(4)的上表面固定连接有喷水管(5)，所述喷水管(5)的表面均匀固定连接有多个喷头(6)，所述通气管(9)的上端设置有导气管(8)，所述导气管(8)的表面均匀开设有多个出气口(7)，所述多个出气口(7)的位置与多个喷头(6)相对应，所述导气管(8)的侧壁通过缓冲弹簧(19)固定连接有多个筛孔板(20)，多个所述筛孔板(20)的上表面均固定连接有石墨毡(21)。