[实用新型]一种晶圆夹持装置

摘要

本实用新型提供了一种晶圆夹持装置，包括主固定板、支撑板、连接管、圆孔、手柄、焊接板、伸缩杆、螺丝、副固定板、内圆管，主固定板的一侧设置有副固定板，主固定板的一侧外壁电焊连接有焊接板，焊接板的一侧电焊连接有手柄，主固定板的上下两端均电焊连接有连接管，主固定板的内侧底部电焊连接有支撑板，主固定板和副固定板均设置有两块，副固定板的上下两端均贯穿连接有圆孔，且圆孔内壁设置有内螺纹。两块主固定板和两块副固定板均通过伸缩杆连接，且伸缩杆与主固定板和副固定板均为电焊连接，通过设置伸缩杆使得主固定板和副固定板能够扩大收纳范围，达到防置不同尺寸晶圆的效果适用于晶圆夹持装置的生产和使用，具有良好的发展前景。

主权项

1.一种晶圆夹持装置，包括主固定板(1)、支撑板(2)、连接管(3)、圆孔(4)、手柄(5)、焊接板(6)、伸缩杆(7)、螺丝(8)、副固定板(9)、内圆管(10)，其特征在于：主固定板(1)的一侧设置有副固定板(9)，主固定板(1)的一侧外壁电焊连接有焊接板(6)，焊接板(6)的一侧电焊连接有手柄(5)，主固定板(1)的上下两端均电焊连接有连接管(3)，连接管(3)的中部套入连接有内圆管(10)，主固定板(1)的内侧底部电焊连接有支撑板(2)，主固定板(1)和副固定板(9)均设置有两块，副固定板(9)的上下两端均贯穿连接有圆孔(4)，且圆孔(4)内壁设置有内螺纹，圆孔(4)与螺丝(8)配套使用，螺丝(8)均螺纹连接圆孔(4)和连接管(3)。