[实用新型]一种晶圆抽检器

摘要

本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，且公开了一种晶圆抽检器，包括外壳，所述外壳内腔底面的中部活动套接有旋转轴，所述旋转轴的顶端固定安装有工作台，所述工作台内腔的上下两面之间固定安装有固定块，所述固定块的侧面和工作台的内壁之间固定安装有定位滑杆。该晶圆抽检器，通过四个卡接板的配合，使得晶圆的圆心与工作台顶面的圆心重合并将晶圆固定住，通过驱动电机、减速箱、驱动锥齿轮和从动锥齿轮的配合，为旋转轴提供了一个动力，使得旋转轴能够通过工作台带着晶圆转动，从而使得测距仪能够在晶圆的表面进行连续的检测，增多了取样检测的点，增加了该晶圆抽检器的准确性，提高了该晶圆抽检器的实用性。

主权项

1.一种晶圆抽检器，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内腔底面的中部活动套接有旋转轴（2），所述旋转轴（2）的顶端固定安装有工作台（3），所述工作台（3）内腔的上下两面之间固定安装有固定块（4），所述固定块（4）的侧面和工作台（3）的内壁之间固定安装有定位滑杆（5），所述定位滑杆（5）的外部活动套接有滑块（6），所述定位滑杆（5）的外部活动套接有卡接弹簧（7），所述卡接弹簧（7）的两端分别与固定块（4）和滑块（6）接近的两个侧面固定连接，所述滑块（6）的顶面固定安装有卡接板（8），所述旋转轴（2）的外部固定套接有从动锥齿轮（9），所述外壳（1）内腔的底面固定安装有位于旋转轴（2）右侧的驱动电机（10），所述外壳（1）内腔的底面固定安装有位于驱动电机（10）左侧的减速箱（11），所述驱动电机（10）的输出轴与减速箱（11）的右侧面固定连接，所述减速箱（11）的输出轴固定套接有与从动锥齿轮（9）相啮合的驱动锥齿轮（12），所述外壳（1）内腔的底面固定安装有位于旋转轴（2）左侧的蓄电池（13），所述外壳（1）的顶面固定安装有支撑柱（18），所述支撑柱（18）的顶端固定安装有调节箱（19），所述调节箱（19）内腔的左右两侧面之间活动套接有螺纹杆（20），所述螺纹杆（20）的外部螺纹套接有连接柱（21），所述连接柱（21）的底端延伸至调节箱（19）的外部并固定安装有测距仪（22），所述外壳（1）的底面固定安装有固定套管（24），所述固定套管（24）的底端螺纹套接有支撑腿（25）。