[实用新型]一种可实现真空吸附的刀具切割装置有效

专利信息
申请号: 201821583193.8 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN209408987U 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 薛佳伟;薛佳勇;王海军 申请(专利权)人: 天津众晶半导体材料有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市北*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型公开了一种可实现真空吸附的刀具切割装置,包括固定箱、真空泵、机床和液压泵,所述机床的上端面一侧中间处固定有置物台,所述机床上端面两侧均固定有滑轨,所述滑轨内滑动安装有支杆,所述支杆共设有两个,且两个支杆背离滑轨的一端分别固定在固定箱的下端面两端,所述固定箱的内部中间处固定有液压装置,所述液压装置的上端通过油管连接有在液压泵上,所述液压装置的下端通过转轴转动安装有控位盘,所述控位盘的外侧固定有把手,所述控位盘的下端面中间处固定有盒体。本实用新型具备良好的固定结构,在切割时避免单晶硅片的损坏和可转动的固定结构,方便对硅片四边进行切除,提高了工作的效率。
搜索关键词: 液压装置 固定箱 中间处 滑轨 位盘 支杆 机床 刀具切割装置 本实用新型 固定结构 真空吸附 上端面 下端面 液压泵 四边 单晶硅片 滑动安装 油管连接 转轴转动 可转动 真空泵 置物台 上端 硅片 盒体 下端 切除 切割 把手 背离
【主权项】:
1.一种可实现真空吸附的刀具切割装置,包括固定箱(1)、真空泵(6)、机床(8)和液压泵(19),其特征在于:所述机床(8)的上端面一侧中间处固定有置物台(9),所述机床(8)上端面两侧均固定有滑轨(3),所述滑轨(3)内滑动安装有支杆(2),所述支杆(2)共设有两个,且两个支杆(2)背离滑轨(3)的一端分别固定在固定箱(1)的下端面两端,所述固定箱(1)的内部中间处固定有液压装置(12),所述液压装置(12)的上端通过油管(20)连接有在液压泵(19)上,所述液压装置(12)的下端通过转轴(13)转动安装有控位盘(14),所述控位盘(14)的外侧固定有把手(11),所述控位盘(14)的下端面中间处固定有盒体(17),所述盒体(17)的下端面中间处固定有吸盘(16),所述盒体(17)的一侧连接有软管(7),所述软管(7)背离盒体(17)的一端固定在真空泵(6)上,所述机床(8)上端面中间处背离置物台(9)的一侧固定有电机(18),所述电机(18)的一侧转动安装有刀片(21)。
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