[实用新型]一种可实现真空吸附的刀具切割装置有效
申请号: | 201821583193.8 | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN209408987U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 薛佳伟;薛佳勇;王海军 | 申请(专利权)人: | 天津众晶半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市北*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可实现真空吸附的刀具切割装置,包括固定箱、真空泵、机床和液压泵,所述机床的上端面一侧中间处固定有置物台,所述机床上端面两侧均固定有滑轨,所述滑轨内滑动安装有支杆,所述支杆共设有两个,且两个支杆背离滑轨的一端分别固定在固定箱的下端面两端,所述固定箱的内部中间处固定有液压装置,所述液压装置的上端通过油管连接有在液压泵上,所述液压装置的下端通过转轴转动安装有控位盘,所述控位盘的外侧固定有把手,所述控位盘的下端面中间处固定有盒体。本实用新型具备良好的固定结构,在切割时避免单晶硅片的损坏和可转动的固定结构,方便对硅片四边进行切除,提高了工作的效率。 | ||
搜索关键词: | 液压装置 固定箱 中间处 滑轨 位盘 支杆 机床 刀具切割装置 本实用新型 固定结构 真空吸附 上端面 下端面 液压泵 四边 单晶硅片 滑动安装 油管连接 转轴转动 可转动 真空泵 置物台 上端 硅片 盒体 下端 切除 切割 把手 背离 | ||
【主权项】:
1.一种可实现真空吸附的刀具切割装置,包括固定箱(1)、真空泵(6)、机床(8)和液压泵(19),其特征在于:所述机床(8)的上端面一侧中间处固定有置物台(9),所述机床(8)上端面两侧均固定有滑轨(3),所述滑轨(3)内滑动安装有支杆(2),所述支杆(2)共设有两个,且两个支杆(2)背离滑轨(3)的一端分别固定在固定箱(1)的下端面两端,所述固定箱(1)的内部中间处固定有液压装置(12),所述液压装置(12)的上端通过油管(20)连接有在液压泵(19)上,所述液压装置(12)的下端通过转轴(13)转动安装有控位盘(14),所述控位盘(14)的外侧固定有把手(11),所述控位盘(14)的下端面中间处固定有盒体(17),所述盒体(17)的下端面中间处固定有吸盘(16),所述盒体(17)的一侧连接有软管(7),所述软管(7)背离盒体(17)的一端固定在真空泵(6)上,所述机床(8)上端面中间处背离置物台(9)的一侧固定有电机(18),所述电机(18)的一侧转动安装有刀片(21)。
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