[实用新型]单晶炉连续投料连续生长的阻隔装置有效
申请号: | 201821584171.3 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN208869715U | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 赵建;葛文星;惠泽 | 申请(专利权)人: | 江苏双良新能源装备有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 隋玲玲 |
地址: | 214444 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单晶炉连续投料连续生长的阻隔装置,石英坩埚内设有阻隔器,所述阻隔器为薄壁圆筒结构,所述阻隔器内侧设有晶体,所述阻隔器外侧与石英坩埚之间设有硅料,所述阻隔器通过吊装挂钩悬挂在热屏上,所述阻隔器上均布有多个固定孔,所述阻隔器的底部与石英坩埚的底部留有间隙。本实用新型利用氮化硅材料不与硅溶液反应且不浸润,硅熔点温度不形变耐温的特性,形成阻隔作用,阻隔固体料,实现坩埚外侧化料,内侧生长,底部连通保持生长位置液面稳定。 | ||
搜索关键词: | 阻隔器 石英坩埚 本实用新型 连续投料 阻隔装置 单晶炉 生长 阻隔 薄壁圆筒结构 氮化硅材料 底部连通 吊装挂钩 生长位置 液面稳定 固定孔 固体料 硅熔点 硅溶液 形变 硅料 化料 均布 耐温 热屏 坩埚 浸润 悬挂 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉连续投料连续生长的阻隔装置,其特征在于:石英坩埚(5)内设有阻隔器(4),所述阻隔器(4)为薄壁圆筒结构,所述阻隔器(4)内侧设有晶体(1),所述阻隔器(4)外侧与石英坩埚(5)之间设有硅料(7),所述晶体(1)外设有阻隔器(4),所述阻隔器(4)通过吊装挂钩(2)悬挂在热屏(3)上,所述阻隔器(4)上均布有多个固定孔,所述阻隔器(4)的底部与石英坩埚(5)的底部留有间隙。
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