[实用新型]真空腔体的冷却结构

摘要

本实用新型涉及镀膜机真空腔体的冷却装置技术领域，特别是涉及一种真空腔体的冷却结构，包括：冷却腔体，直接安装于真空腔体的外壁，用于冷却所述真空腔体，所述冷却腔体具有朝远离所述真空腔体的一侧凹陷的腔壁；以及支撑结构，设置于所述腔壁，用于支撑所述腔壁。通过将所述冷却腔体直接安装于所述真空腔体的外壁，不占用所述真空腔体的内部空间。且通过所述冷却腔体直接对所述真空腔体进行冷却，冷却效果更好。通过所述支撑结构，能够支撑所述冷却腔体的所述腔壁部分，避免由于所述腔壁强度不够而朝所述真空腔体一侧塌陷，提高了所述冷却腔体的使用可靠性。

主权项

1.一种真空腔体的冷却结构，其特征在于，包括：冷却腔体(100)，直接安装于真空腔体(10)的外壁，用于冷却所述真空腔体(10)，所述冷却腔体(100)具有朝远离所述真空腔体(10)的一侧凹陷的腔壁(110)；以及支撑结构(200)，设置于所述腔壁(110)，用于支撑所述腔壁(110)。