[实用新型]一种利用机械调谐测量电子束流直径的装置

摘要

本实用新型是一种利用机械调谐测量电子束流直径的装置，电子束发射系统、电子束收集系统分别固定在真空陶瓷外壳相对的两端，排气系统、微调系统连接于真空陶瓷外壳；所述电子束收集系统有电子束收集极、散热片，散热片固定于电子束收集极外表面；所述排气系统由真空泵抽气；所述微调系统包括调谐引出筒，弹性管组件和刻度盘，弹性管组件包括固定套、弹性管、调谐螺杆、屏蔽片、T型连接杆，刻度盘包括轴向刻度筒和径向刻度筒两部分，轴向刻度筒与固定套固定在一起，径向刻度筒套接轴向刻度筒，径向刻度筒有内螺纹，径向刻度筒的内螺纹与调谐螺杆的外螺纹相配合。有益效果：测试过程简便，可重复多次测试；测试精度达到0.02mm。

主权项

1.一种利用机械调谐测量电子束流直径的装置，其特征是：包括电子束发射系统(100)、电子束收集系统(200)、真空陶瓷外壳(300)、排气系统(400)、微调系统(600)、电流表(500)，所述电子束发射系统(100)、电子束收集系统(200)分别固定在真空陶瓷外壳(300)相对的两端，排气系统(400)、微调系统(600)连接于真空陶瓷外壳(300)；所述电子束收集系统(200)有电子束收集极(201)、散热片(202)，散热片(202)固定于电子束收集极(201)外表面，电子束收集极(201)前面在真空陶瓷外壳(300)内并且与电子束发射系统(100)的发射枪相对设置，电子束收集极(201)连接电流表(500)的正极，电流表(500)的负极接地；所述排气系统(400)是在真空陶瓷外壳(300)开一个排气孔(401)，排气孔(401)接通排气管(402)，排气管(402)上端固定有排气管法兰(403)，排气管法兰(403)用来连接真空泵的抽气管；所述微调系统(600)包括调谐引出筒(601)，弹性管组件(700)和刻度盘(602)，微调系统(600)接地，调谐引出筒(601)侧壁与真空陶瓷外壳(300)气密性连接，弹性管组件(700)包括固定套(701)、弹性管(702)、调谐螺杆(703)、屏蔽片(704)、T型连接杆(705)，屏蔽片(704)经过调谐引出筒(601)伸入真空陶瓷外壳(300)内，屏蔽片(704)固定在T型连接杆(705)端头，固定套(701)是一侧有底、一侧敞口的筒形，T型连接杆(705)有凸缘，凸缘上固定连接弹性管(702)的一端，弹性管(702)的另一端固定连接固定套(701)的底面，固定套(701)固定连接调谐引出筒(601)将调谐引出筒(601)一端封闭，调谐螺杆(703)下部穿过固定套(701)的底进入弹性管(702)内部且端面与T型连接杆(705)顶触，刻度盘(602)包括轴向刻度筒和径向刻度筒两部分，轴向刻度筒与固定套(701)固定在一起，径向刻度筒套接轴向刻度筒，径向刻度筒有内螺纹，径向刻度筒的内螺纹与调谐螺杆(703)的外螺纹相配合。