[实用新型]一种可调分子泵隔气板高度的真空磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201821593008.3 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN208898984U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 胡冰;张荣光;时炳忠 | 申请（专利权）人： | 天津南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 301700 天津市武清*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种可调分子泵隔气板高度的真空磁控溅射镀膜装置，包括真空溅射室，真空溅射室的内设有用于传送玻璃基材的传送辊，真空溅射室的顶部内壁设有靶材基座，靶材基座的下端设有靶材，靶材基座上滑动设有隔气板，隔气板包括板顶和板身，板身的两侧对称设有第一提升机构和第二提升机构，第一提升机构包括第一齿轮，板身的外壁设有与第一齿轮相啮合的第一齿条，第二提升机构包括第二齿轮,板身的外壁设有与第二齿轮相啮合的第二齿条，第一齿轮和第二齿轮均由电机驱动，第一齿轮和第二齿轮的转动方向相反。本实用新型能连续调节隔气板的高度，结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 齿轮 隔气板 提升机构 板身 靶材基座 真空溅射 真空磁控溅射镀膜 啮合 本实用新型 分子泵 齿条 可调 外壁 转动方向相反 玻璃基材 电机驱动 顶部内壁 连续调节 传送辊 滑动 靶材 板顶 下端 对称 传送 | ||
【主权项】：
1.一种可调分子泵隔气板高度的真空磁控溅射镀膜装置，其特征在于：包括真空溅射室(1)，真空溅射室(1)的顶部设有与真空溅射室(1)相连通的抽真空装置(2)，真空溅射室(1)的下部设有送气装置(3)，真空溅射室(1)的内腔底部设有支架(4)，支架(4)上设有用于传送玻璃基材的传送辊(41)，真空溅射室(1)的顶部内壁设有靶材基座(11)，靶材基座(11)的下端设有靶材(12)，靶材基座(11)上滑动设有隔气板(5)，隔气板(5)包括板顶(51)和从板顶(51)的边缘向下延伸形成的板身(52)，板顶(51)的中心开设有与靶材基座(11)的横截面尺寸相匹配的通孔(511)，隔气板(5)套设于靶材基座(11)上，板身(52)的两侧对称设有第一提升机构(6)和第二提升机构(7)，第一提升机构(6)包括第一齿轮(61)，板身(52)的外壁设有与第一齿轮(61)相啮合的第一齿条(62)，第二提升机构(7)包括第二齿轮(71),板身(52)的外壁设有与第二齿轮(71)相啮合的第二齿条(72)，第一齿轮(61)和第二齿轮(71)均由电机驱动，第一齿轮(61)和第二齿轮(71)的转动方向相反。
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