[实用新型]一种酸性蚀刻液再生循环回用设备

摘要

本实用新型公开了一种酸性蚀刻液再生循环回用设备，其包括依次连通的蚀刻废液收集罐、析氯电解槽、析氧电解槽、再生液中转槽、蚀刻液储存罐，以及废气塔。析氯电解槽槽内设有若干平行间隔设置的第一阳极板与第一阴极板。析氯电解槽外设有氯气检测仪与第一直流整流器组。第一直流整流器组与第一阳极板、第一阴极板电连接。析氧电解槽槽内设有若干平行间隔设置的第二阳极板与第二阴极板。析氧电解槽槽外第二直流整流器组、铜离子分析仪以及酸度滴定检测仪。第二直流整流器组与第二阳极板、第二阴极板电连接。本实用新型采用析氯电解槽来氧化一价铜，无需添加氧化剂；通过采用析氧电解槽，可产生酸根，恢复酸度，减少盐酸添加。

主权项

1.一种酸性蚀刻液再生循环回用设备，其特征在于，包括依次连通的蚀刻废液收集罐、析氯电解槽、析氧电解槽、再生液中转槽、蚀刻液储存罐，以及废气塔；所述蚀刻液储存罐与蚀刻生产线连接；所述析氯电解槽槽内设有若干平行间隔设置的第一阳极板与第一阴极板；所述析氯电解槽外设有用于检测析氯电解槽槽内的氯气浓度的氯气检测仪，用于驱动该析氯电解槽的第一直流整流器组；所述第一直流整流器组与第一阳极板、第一阴极板电连接；所述析氧电解槽槽内设有若干平行间隔设置的第二阳极板与第二阴极板；所述析氧电解槽槽外设有驱动该析氧电解槽的第二直流整流器组，用于检测析氧电解槽槽内的二阶铜浓度的铜离子分析仪，以及用于检测析氧电解槽内溶液的酸度的酸度滴定检测仪；所述第二直流整流器组与第二阳极板、第二阴极板电连接；所述蚀刻废液收集罐、析氯电解槽、析氧电解槽、再生液中转槽、蚀刻液储存罐均与所述废气塔连通。