[实用新型]一种生长在Si衬底上的(In)GaN纳米管有效

专利信息
申请号: 201821604599.X 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN209508387U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 李国强;徐珍珠;张曙光;高芳亮;温雷;余粤锋 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/58;C23C16/34;C25B1/04;C25B11/06;B82Y40/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍;冯振宁
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种生长在Si衬底上的(In)GaN纳米管,包括生长在Si衬底上的AlN缓冲层,生长在AlN缓冲层上的(In)GaN纳米管。本实用新型采用的Si衬底易获得、面积大、成本低、有利于降低器件成本;本实用新型的(In)GaN纳米管晶体质量好,禁带宽度可调,比表面积大,可实现可见光光谱响应,适用于光电解水产氢。
搜索关键词: 衬底 本实用新型 纳米管 生长 可见光光谱 纳米管晶体 降低器件 宽度可调 光电解 禁带 水产 响应
【主权项】:
1.一种生长在Si衬底上的(In)GaN纳米管,其特征在于,包括Si衬底(1),生长在Si衬底(1)上的AlN缓冲层(2),生长在AlN缓冲层(2)上的(In)GaN纳米管(3)。
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